碱金属卤化物常温下为白色粉末，在10-2Pa真空下蒸发温度为1180℃，可用镍、钼、钽、钨舟或Al2O3坩埚蒸发，电子束加热蒸发效果较好。LiF在紫外区具有较高的透明性，透明范围为110nm~7μm，在550nm处折射率值为1.36~1.37。LiF薄膜的折射率值随时间变化，且随着膜厚的增加表现出不均匀性。LiF薄膜的力学性能较差，且具有吸湿性。